тел: (495) 600-40-84
A-523.25005B3

A-523.25005B3

Вертикальная/наклонная платформа A‑523.25005B3 предназначена для линейного перемещения по оси Z, а также для наклона вокруг осей X, Y. Данный позиционер относится к системам параллельной кинематики и оборудован тремя независимыми линейными двигателями с энкодером. Если все три привода приводятся в движение синхронно, то столик будет двигаться только вдоль оси Z. Если приводы работают асинхронно, то перемещение будет складываться из смещения вдоль оси Z, и наклона вокруг осей X, Y.

Благодаря использованию воздушного подшипника, платформа A-523.25005B3 перемещается с очень малым трением, не требует смазки и обладает длительным сроком службы. A-523.25005B3 подходит для работы в чистых помещениях.

Для управления позиционером A-523.25005B3 могут использоваться контроллеры серий A-81x или A-82x. При заказе A-523.25005B3 с данными контроллерами PI выполняет настройку и оптимизацию характеристик сервопривода для указанной нагрузки.

Платформа A-523.25005B3 предназначена для работы только в горизонтальном положении.

Некоторые области применения:

· контроль полупроводниковых пластин

· юстировка оптоволокна

· юстировка оптических компонент

· контроль дисплеев

· безмасочная литография


Параметр

А-523.25005В3

Допуск

Активные оси

Z, θX, θY

Диапазон перемещения Z(1)

5 мм

максимум

Диапазон вращения θX(1)

2 °

максимум

Диапазон вращения θY(1)

1,6 °

максимум

Ускорение Z

10 м/с2

максимум

Максимальная скорость Z

200 мм/с

Вращение θX при движении вдоль Z

± 25 мкрад

тип.(2)

Вращение θY при движении вдоль Z

± 25 мкрад

тип.

Двунаправленная повторяемость Z

± 0,25 мкм

тип.

Двунаправленная повторяемость θX

± 8 мкрад

тип.

Двунаправленная повторяемость θY

± 8 мкрад

тип.

Точность позиционирования Z, калиброванная(3)

± 0,5 мкм

тип.

Точность позиционирования θX, некалиброванная

± 15 мкрад

тип.

Точность позиционирования θY, некалиброванная

± 15 мкрад

тип.

Минимальный шаг Z(4)

0,01 мкм

тип.

Минимальный шаг θX

0,06 мкрад

тип.

Минимальный шаг θY

0,06 мкрад

тип.

Встроенный датчик

Абсолютный линейный энкодер

Интерфейс датчика

BiSS-C

Разрешение датчика

1 нм

Тип привода

3-фазный линейный двигатель

Номинальное напряжение

48 В

Пиковое напряжение

80 В

Номинальный ток, среднеквадратичный

0,8 А

тип.

Пиковый ток, среднеквадратичный

1.5 А

тип.

Силовая постоянная

10 Н/A

Сопротивление фаза-фаза

23.5 Ом

тип.

Индуктивность фаза-фаза

5.2 мГн

Противодействующая ЭДС фаза-фаза

10 В·с/м

максимум

Направляющая

Направляющая с воздушным подшипником, с воздушным предварительным натягом

Допустимая нагрузка вдоль оси Z(5)

80 Н

максимум

Общая масса

8,2 кг

Материал

Твердосплавный алюминий, элементы крепления из нержавеющей стали

Разъём

HD D-sub 26 (п)

Соединение воздушного подшипника

Разъёмное соединение для шланга с наружным диаметром 6 мм

Рабочее давление

От 515 до 585 кПа (от 75 до 85 фунтов на квадратный дюйм)

Расход воздуха

84 л/мин

максимум

Качество воздуха

Чистый (отфильтрованный до 1,0 мкм или выше) - ISO 8573-1 класс 1; без масла - ISO 8573-1 класс 1; сухой (точка росы -15 °C) - ISO 8573-1 класс 3

Рекомендуемые контроллеры / драйверы

А-814 (четыре оси), A-82х (4/6 осей)

Диапазон рабочих температур

От +15 до +25 °C



(1) Диапазоны перемещения отдельных координат (Z, θX, θY) взаимозависимы. Данные для каждой оси в таблице показывают ее максимальный диапазон перемещения, где все остальные оси остаются неподвижными и находятся в начальном положении.

(2) Типичное значение.

(3) Калиброванную точность можно получить только с помощью компенсации ошибок в контроллере. Платформа должна быть заказана с контроллером PI для достижения указанного значения. Значения точности предполагают краткосрочную продолжительность и не учитывают долгосрочные эффекты теплового дрейфа.

(4) Минимальный шаг напрямую связан с характеристиками контроллера. Характеристики можно улучшить, используя опцию ServoBoost+ контроллеров ACS SPiiPlus.

(5) Для давления 80 фунтов на квадратный дюйм. Платформа предназначена только для горизонтальной работы.